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KS-Ⅰ-5.125入江工研IKC 半导体超高真空专用矩形闸阀

入江工研IKC 半导体超高真空专用矩形闸阀 KOSLARZE 是 IKC 面向半导体、面板、精密真空打造的无滑动洁净方形闸阀，行业俗称晶圆门阀、狭缝阀，核心优势为零摩擦启闭、极低颗粒物、低漏率、百万次长寿命，是晶圆传输腔、Load-lock、刻蚀 / PVD 腔体隔断的标配阀。

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