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标题：MIYUKI 美幸辉 BH-J100双段慢排气动蝶阀
产品概述
MIYUKI 美幸辉 BH-J100双段慢排气动蝶阀
BH 系列是日本美幸辉专为光学镀膜、半导体溅射蒸镀、卷绕镀膜等高洁净真空腔体定制的两段缓冲气动蝶阀，核心作用是腔体预抽、缓慢破空稳压、主路通断隔离；区别于普通 B 系列单档位蝶阀，BH 依靠双气缸实现慢开泄压 + 快速全开抽气一体化，是日系镀膜设备原厂标配破空阀，广泛适配美幸辉自有 BH 镀膜机、日立、佳能、爱发科等日系真空镀膜产线管路替换改造。
01. 该阀门可在两个位置操作：0 至 45 度和 90 度（wan全打开），从而允许使用单个阀门进行慢速和高速排气。
02. 除了标准的全闭式和全开式气缸外，该系统还具有两级结构，其气缸允许阀门开度在 0 到 45 度的范围内任意设置。
03. 尽管体积小，但气缸打开时推力加倍（确保可靠运行），并在行程末端提供气垫效应（减轻冲击）。
04. wan全关闭时，阀体wan全密封。
05. 安装位置或安装方向没有限制。
06. 层间距非常薄，因此具有优异的导电性能。
07. 组装和检验在洁净室中进行。
BH：两段双气缸气动蝶阀（0° 全关、0~45° 慢开、90° 全开三档位）
法兰代码（镀膜机zui常用两类）
J：JIS 日标法兰【镀膜机腔体、真空泵主管shou选，日系设备原装孔位】
N：KF (NW) 快装法兰，小型腔体、分子泵前端、样机调试
I：ISO 法兰，大型连续卷绕镀膜主管
C：CF 刀口法兰，超高真空、可高温烘烤镀膜腔体
数字：公称通径（25A~350A，DN25~DN350）
举例：BH-J80= 两段气动、JIS 日标、DN80，日系中小型镀膜机zui通用破空阀型号
3 个固定阀位：0° 全关 → 0~45° 无级慢开泄压 → 90° 全开
45° 小幅慢开：缓慢给腔体充气破空，杜绝气流冲击晶圆、光学镜片、镀膜膜层碎裂、粉尘飞溅，替代传统 “主阀 + 旁路针阀" 双阀管路，简化设备结构；
90° 全开：大通导快速抽真空，缩短镀膜腔体抽气时长，提升设备稼动率。
半导体：腔体主抽隔离阀、真空泵切断阀、工艺管路通断；低粉尘低出气，适配晶圆制程、刻蚀、镀膜设备
光学 / 光伏镀膜：蒸发、溅射设备真空管路开关，腔体抽气隔离（慢抽泄压选 BH 系列，不要选 B 系列）
新能源锂电：极片烘干腔体、脱泡设备真空管路隔断；惰性气体管路开关
真空热处理 / 炉类：扩散炉、退火炉真空切断
科研实验室：各类高真空试验腔体、电子束设备
精细化工：惰性气体、弱腐蚀气体负压管路通断；强腐蚀介质务必升级 Kalrez 密封
| 法兰式 | JIS、ISO、KF（NW）、CF |
|---|---|
| 口径 | 25A 至 400A |
| 泄漏 | 1× 10⁻⁹ Pa·m³ / s 或更低 |
| 使用区域 | 10⁵至10⁻⁵帕 |
| 气体接触部件的材料 | SUS304 |
| 盘式密封 | 氟橡胶O型圈 |
| 轴封 | 氟橡胶O型圈 |
| 工作气压 | 0.4–0.6 MPaG |
| 开盘/收盘指标 | 配备微动开关（用于检测开/关位置）。 |
135-3022-7878
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