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标题:日本美幸辉MIYUKI 金属波纹管 L 型角阀
产品概述
日本美幸辉MIYUKI 金属波纹管 L 型角阀核心结构与 8 大特点
全金属波纹管0污染密封
SUS316L 多层焊接波纹管隔离阀杆,无 O 圈往复摩擦,无颗粒物、有机挥发物析出,适配晶圆、高纯气体等严苛洁净制程;可 200℃整体高温烘烤除气。
L 型大导流内腔
90° 直角平滑流道,气流阻力小、通导大,抽气速度快,有效缩短腔体预抽时长。
双向抗背压密封
真空侧、大气侧反向压差均可稳定密封,任意角度安装,可做隔离阀、防返油保护阀。
气缸配置灵活
16A~50A:单作用(弹簧常闭 / 常开)、双作用气缸二选一,断气可自动关阀自锁;
80A~250A:标准双作用气缸;
气源统一要求:干燥压缩空气 0.4~0.6MPa。
ABR 缓冲降噪延寿
ABR 气缸两端内置气动缓冲,开关缓慢减震,大幅降低阀座撞击,密封圈寿命提升 50%。
低放气精密加工
阀体 SUS304 不锈钢,内腔镜面电解抛光、真空钎焊一体成型,无积气死角;百级洁净装配,逐台氦检。
自动化配套齐全
标配磁感应开关,可输出全开、全关两路信号,选配 DC24V 电磁阀,可直接对接 PLC 自动化联锁。
超长启闭寿命
16A~50A:≥50 万次;80A~250A:≥10 万次。
前缀定义
AB:基础波纹管 L 型阀,无气缸缓冲;
ABR:波纹管 + 内置气垫缓冲气缸,启闭减震、密封圈寿命更长,市面主流常用;
通径:16A、25A、40A、50A、80A、100A、125A、160A、200A、250A
法兰后缀
N:KF (NW) 快装法兰,拆装便捷,干式泵、小管路通用;
J:JIS 日标法兰,日系镀膜、半导体设备原装标配;
C:CF 刀口金属法兰,超高真空、高温烘烤、氦检场景专用。
示例:ABR-J100 = 带缓冲、JIS 法兰 DN100 波纹管 L 阀
| 系列 | 密封结构 | 定位 | 适用工况 |
|---|---|---|---|
| AB | 波纹管、无缓冲 | gao端洁净高真空基础款 | 洁净腔体、分子泵隔离、需要烘烤 |
| ABR | 波纹管 + 气缸缓冲 | 主流高配款 | 自动化产线、频繁启闭工况 |
| AE | O 圈动密封、无缓冲 | 经济型中真空阀 | 粗抽管路、普通工业真空、低成本 |
| AER | O 圈 + 气缸缓冲 | 经济型耐用款 | 量产粗抽、频繁开关普通管路 |
半导体行业:晶圆刻蚀、PVD/CVD 腔体分子泵入口阀、Loadlock 预抽隔离、高纯工艺气切断;
光学 / 面板镀膜:OLED、ITO 导电膜、镜头蒸镀机高真空主阀;
科研实验室:超高真空腔体、质谱仪、氦检设备、空间模拟舱;
新能源:锂电真空烧结、固态电池高真空化成炉;
真空机组:干式泵 + 分子泵机组保护阀、真空泵防返油隔断阀。
日本美幸辉MIYUKI 金属波纹管 L 型角阀规格参数:
135-3022-7878

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