美幸辉MIYUKI 半导体设备标配真空L型阀

1. 全金属波纹管0污染密封

   SUS316L 多层焊接波纹管隔离阀杆，无 O 圈往复摩擦，无颗粒物、有机挥发物析出，适配晶圆、高纯气体等严苛洁净制程；可 200℃整体高温烘烤除气。

2. L 型大导流内腔

   90° 直角平滑流道，气流阻力小、通导大，抽气速度快，有效缩短腔体预抽时长。

3. 双向抗背压密封

   真空侧、大气侧反向压差均可稳定密封，任意角度安装，可做隔离阀、防返油保护阀。

4. 气缸配置灵活

• 16A~50A：单作用（弹簧常闭 / 常开）、双作用气缸二选一，断气可自动关阀自锁；

• 80A~250A：标准双作用气缸；

  气源统一要求：干燥压缩空气 0.4~0.6MPa。

5. ABR 缓冲降噪延寿

   ABR 气缸两端内置气动缓冲，开关缓慢减震，大幅降低阀座撞击，密封圈寿命提升 50%。

6. 低放气精密加工

   阀体 SUS304 不锈钢，内腔镜面电解抛光、真空钎焊一体成型，无积气死角；百级洁净装配，逐台氦检。

7. 自动化配套齐全

   标配磁感应开关，可输出全开、全关两路信号，选配 DC24V 电磁阀，可直接对接 PLC 自动化联锁。

8. 超长启闭寿命

   16A~50A：≥50 万次；80A~250A：≥10 万次。

1. 前缀定义

• AB：基础波纹管 L 型阀，无气缸缓冲；

• ABR：波纹管 + 内置气垫缓冲气缸，启闭减震、密封圈寿命更长，市面主流常用；

2. 通径：16A、25A、40A、50A、80A、100A、125A、160A、200A、250A

3. 法兰后缀

• N：KF (NW) 快装法兰，拆装便捷，干式泵、小管路通用；

• J：JIS 日标法兰，日系镀膜、半导体设备原装标配；

• C：CF 刀口金属法兰，超高真空、高温烘烤、氦检场景专用。

  示例：ABR-J100 = 带缓冲、JIS 法兰 DN100 波纹管 L 阀

主流应用场景

1. 半导体行业：晶圆刻蚀、PVD/CVD 腔体分子泵入口阀、Loadlock 预抽隔离、高纯工艺气切断；

2. 光学 / 面板镀膜：OLED、ITO 导电膜、镜头蒸镀机高真空主阀；

3. 科研实验室：超高真空腔体、质谱仪、氦检设备、空间模拟舱；

4. 新能源：锂电真空烧结、固态电池高真空化成炉；

5. 真空机组：干式泵 + 分子泵机组保护阀、真空泵防返油隔断阀。
   美幸辉MIYUKI 半导体设备标配真空L型阀规格：