日本进口MRM SMH高温手动隔膜阀

标题：日本进口MRM SMH高温手动隔膜阀

产品概述

日本进口MRM SMH高温手动隔膜阀规格参数表

1. 最高耐温 180℃，MRM 手动阀里温度上限最高，专门适配热磷酸、热硫酸等高温腐蚀药液，MMV/SMP 在 100℃以上不可用

2. 独立隔热结构，隔绝高温药液热量传导至手轮，防止烫手、保护上部操作组件

3. 接液全氟树脂 PTFE，耐 HF、浓酸、高温碱性药液，低离子析出、低发尘，满足半导体高纯制程

4. 接口标准和 SAH、MAV 一致，同通径管路可以直接互换，高温回路里气动阀和手动旁路阀配管统一

5. 手轮多圈微调，既能关断，也可以精细调节药液流量

6. 短板：耐压上限只有 0.3MPa，不适合高压；价格高、交期长；无大口径法兰款（大口径高温手动另行评估） 适用工况

• 介质：高温磷酸、热硫酸、高温剥离液、热氨水、热超纯水 UPW 等高温腐蚀药液

• 温度区间：100~180℃

• 压力：≤0.3MPa 低压工况，不适合高温 + 高压叠加

• 环境：Class1~1000 洁净车间

• 禁用：强有机溶剂、持续高压工况

应用场景

1. 半导体湿法：高温蚀刻槽、热酸清洗槽的手动旁路阀、取样阀、检修隔离阀（SAH 做自动切断，SMH 做旁路手动）

2. OLED/LCD 面板高温药液循环回路手动隔离

3. 光伏高温酸洗设备取样、调试支路