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标题:IKC入江工研VFP1025真空成型柔性波纹管
产品概述
IKC入江工研VFP1025真空成型柔性波纹管
我们提供一系列不锈钢软管,方便连接真空设备管道,具有柔韧性和耐腐蚀性。在现有四种标准尺寸的基础上,新增了10A至100A的多种尺寸。
<如何指定型号>
对于标准软管,请指定每种形状的型号以及软管长度。
请注意,订购时同一尺寸的软管可能有两个不同的型号,
型号的首字母不同。(传统产品:VF;新产品:VFP)
(型号示例)例如,带NW法兰的新产品(VFP),25A,长度500L:VFP1025-500L
波纹管本体:SUS316L
法兰:SUS316;可定制哈氏合金、钛(强腐蚀)
IKC入江工研VFP1025真空成型柔性波纹管 规格:
| 压力条件 | (内部)真空 (外部)大气压力 |
|---|---|
| 温度条件 | 室温(烘焙过程中最高温度250°C) |
| 长度 | 500、1000、1500、2000毫米 |
| 管材 | 不锈钢 |
| 法兰材料 | 不锈钢 |
| 泄漏 | 1× 10⁻⁷ Pa ·m³ / s 或更低 |
适配介质
高真空 、干燥 N₂、Ar、O₂
常规工艺气体:SiH₄、NH₃、干燥卤素(轻度)
干燥压缩空气
ISO‑KF(NW)标准快卡接口,卡箍锁紧,拆装维护极快,备品更换方便
液压一体成型波纹,无碟片拼接焊缝,成本远低于焊接波纹管
全金属波纹本体,低放气,支持烘烤除气,满足半导体、镀膜洁净要求
兼具轴向伸缩、少量侧向、角度补偿,吸收装配错边、热胀冷缩
优秀隔振,用来切断干泵、分子泵振动向腔体传递
VF/VFP 长软管:布线灵活,可以小角度弯折走管;短型 KF/KP:刚性更高,适合腔体之间短距补偿
半导体(主力):Loadlock、前级管路、干泵 / 分子泵排气管、刻蚀、CVD/PVD 外围真空配管、泵组柔性接驳
光伏 & 光学镀膜:蒸镀、磁控溅射、钙钛矿设备真空管路
科研仪器:质谱、电子束设备、高校真空平台、检漏台
工业真空:真空热处理、负压精馏、真空烧结
设备备件:替代各类进口 KF 柔性接头,设备改造硬管改柔性
135-3022-7878

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