IKC入江工研VF1100真空成型柔性波纹管

标题：IKC入江工研VF1100真空成型柔性波纹管

产品概述

IKC入江工研VF1100真空成型柔性波纹管我们提供一系列不锈钢软管，方便连接真空设备管道，具有柔韧性和耐腐蚀性。在现有四种标准尺寸的基础上，新增了10A至100A的多种尺寸。

<如何指定型号>
对于标准软管，请指定每种形状的型号以及软管长度。
请注意，订购时同一尺寸的软管可能有两个不同的型号，

型号的首字母不同。（传统产品：VF；新产品：VFP）
（型号示例）例如，带NW法兰的新产品（VFP），25A，长度500L：VFP1025-500L

材质标配

• 波纹管本体：SUS316L

• 法兰：SUS316；可定制哈氏合金、钛（强腐蚀）

IKC入江工研VF1100真空成型柔性波纹管 规格：

• 高真空 、干燥 N₂、Ar、O₂

• 常规工艺气体：SiH₄、NH₃、干燥卤素（轻度）

• 干燥压缩空气

产品特点

1. ISO‑KF（NW）标准快卡接口，卡箍锁紧，拆装维护极快，备品更换方便

2. 液压一体成型波纹，无碟片拼接焊缝，成本远低于焊接波纹管

3. 全金属波纹本体，低放气，支持烘烤除气，满足半导体、镀膜洁净要求

4. 兼具轴向伸缩、少量侧向、角度补偿，吸收装配错边、热胀冷缩

5. 优秀隔振，用来切断干泵、分子泵振动向腔体传递

6. VF/VFP 长软管：布线灵活，可以小角度弯折走管；短型 KF/KP：刚性更高，适合腔体之间短距补偿

运用场景

• 半导体（主力）：Loadlock、前级管路、干泵 / 分子泵排气管、刻蚀、CVD/PVD 外围真空配管、泵组柔性接驳

• 光伏 & 光学镀膜：蒸镀、磁控溅射、钙钛矿设备真空管路

• 科研仪器：质谱、电子束设备、高校真空平台、检漏台

• 工业真空：真空热处理、负压精馏、真空烧结

• 设备备件：替代各类进口 KF 柔性接头，设备改造硬管改柔性