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标题：IKC入江工研VF2034法兰超高真空柔性波纹管
产品概述
| 压力条件 | （内部）真空 （外部）大气压力 |
|---|---|
| 温度条件 | 室温（烘焙过程中最高温度250°C） |
| 长度 | 500、1000、1500、2000毫米 |
| 管材 | 不锈钢 |
| 法兰材料 | 不锈钢 |
| 泄漏 | 1× 10⁻⁹ Pa ·m³ / s 或更低 |
IKC入江工研VF2034法兰超高真空柔性波纹管 核心特点
一体液压成型波纹，非焊接波纹管；两端 CF：一固定、一旋转刀口法兰，金属全金属密封，无橡胶件
VFP：壁厚加大，抗弯折、抗疲劳优于 VF
漏率 ≤ 1×10⁻⁹ Pa・m³/s，出厂氦检
烘烤上限：250℃，低放气，满足 UHV
用来补偿装配偏差、热胀冷缩、泵组隔振；静态补偿为主，不适合高频往复动密封
工况：管内超高真空、外部常压；常温运行，间歇烘烤 250℃；允许弯曲、轴向伸缩、少量角向偏移，禁止持续扭转、大偏心
介质：干燥 N₂、Ar、O₂；常规工艺气体；轻度卤素；不适合长期液态浸泡；强腐蚀可定制哈氏合金
| 格式 | （双） | （Bo） | d | D | PCD | 安装孔 | 一个 | [PDF] 产品图纸下载 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| VF | VFP | VF | VFP | VF | VFP | VF | VFP | |||||
| VF2034 | VFP2034 | 25.0 | 25.0 | 34.0 | 32.2 | 18.0 | 33.8 | 27.0 | 6-4.4 | 50.0 | ||
| VF2070 | VFP2070 | 38.2 | 41.0 | 50.0 | 50.5 | 38.0 | 69.3 | 58.7 | 6-6.8 | 50.0 | ||
| VF2114 | VFP2114 | 66.5 | 62.8 | 86.5 | 85.0 | 63.5 | 113.5 | 92.2 | 8-8.5 | 75.0 | ||
| VF2152 | VFP2152 | 103.0 | 100.0 | 127.0 | 126.0 | 101.6 | 151.6 | 130.3 | 16-8.5 | 80.0 | ||
运用场景：
半导体：Loadlock、刻蚀、ALD、PVD/CVD、分子泵 / 离子泵超高真空接驳
镀膜、OLED、钙钛矿蒸镀、电子束、SEM、质谱、加速器、科研超高真空腔体
135-3022-7878
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