真空蝶阀VAT_第(2)页-玉崎半导体（深圳）有限公司

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更新日期
2026-08-17

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61740瑞士VAT 半导体薄膜设备61.7HV蝶形控制阀

瑞士VAT 半导体薄膜设备61.7HV蝶形控制阀基于VAT最新的控制器技术，61.7 HV蝶阀控制阀在极宽的压力范围内实现了zhuo越的压力控制性能。该阀门从几乎零导通状态开始，可在0.5秒内达到全导通状态。快速响应、精准的控制器可在整个工作范围内实现非常精细的压力控制。其压力控制功能基于VAT成熟的设计原理，利用阀板作为节流元件来调节阀门的开度。

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