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优势品牌日本ULVAC爱发科GR90A洁净无油多级罗茨干泵

日本ULVAC爱发科GR90A洁净无油多级罗茨干泵可应用于大气真空间反复抽气的高负荷领域，可在高负荷下持续使用。适用load lock室（装载/卸载室），可实现高吞吐量。感应电机可通用可以安装防爆电机等特殊电机（可选）采用多电压兼容电机

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更新日期
2026-10-21

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厂商性质
代理商

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优势品牌日本ULVAC爱发科GR60A洁净无油多级罗茨干泵

日本ULVAC爱发科GR60A洁净无油多级罗茨干泵可应用于大气真空间反复抽气的高负荷领域，可在高负荷下持续使用。适用load lock室（装载/卸载室），可实现高吞吐量。感应电机可通用可以安装防爆电机等特殊电机（可选）采用多电压兼容电机

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更新日期
2026-10-21

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代理商

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优势品牌ULVAC爱发科LR3601-TR多级罗茨型干式真空泵

ULVAC爱发科LR3601-TR多级罗茨型干式真空泵多级三叶罗茨转子，无油干式结构；转子与壳体互不接触，多级逐级压缩气体直排大气；低温均热设计（区别 HR 高温加热），泵体温度均匀可控，抑制粉尘凝结、减少凝露。

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更新日期
2026-10-21

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厂商性质
代理商

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优势品牌ULVAC爱发科LR3601-R多级罗茨型干式真空泵

ULVAC爱发科LR3601-R多级罗茨型干式真空泵多级三叶罗茨转子，无油干式结构；转子与壳体互不接触，多级逐级压缩气体直排大气；低温均热设计（区别 HR 高温加热），泵体温度均匀可控，抑制粉尘凝结、减少凝露。

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更新日期
2026-10-21

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厂商性质
代理商

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优势品牌ULVAC爱发科LR3601-T多级罗茨型干式真空泵

ULVAC爱发科LR3601-T多级罗茨型干式真空泵多级三叶罗茨转子，无油干式结构；转子与壳体互不接触，多级逐级压缩气体直排大气；低温均热设计（区别 HR 高温加热），泵体温度均匀可控，抑制粉尘凝结、减少凝露。

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2026-10-21

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代理商

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优势品牌ULVAC爱发科LR3601多级罗茨型干式真空泵

ULVAC爱发科LR3601多级罗茨型干式真空泵多级三叶罗茨转子，无油干式结构；转子与壳体互不接触，多级逐级压缩气体直排大气；低温均热设计（区别 HR 高温加热），泵体温度均匀可控，抑制粉尘凝结、减少凝露。

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2026-10-21

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