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  • 日本ULVAC爱发科LS1200A螺杆型干式真空泵
    日本ULVAC爱发科LS1200A螺杆型干式真空泵 LS 是通用洁净型干式螺杆泵,主打高大气压抽速 + ECO-SHOCK 节能,分 C 洁净版、L 轻处理版;防腐、排粉弱于 MS,适合干净 / 轻度水汽、少量有机溶剂的制程,半导体镀膜、Loadlock 主力机型
    01

    更新日期

    2026-10-20
    02

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  • 日本ULVAC爱发科LS600A螺杆型干式真空泵
    日本ULVAC爱发科LS600A螺杆型干式真空泵 LS 是通用洁净型干式螺杆泵,主打高大气压抽速 + ECO-SHOCK 节能,分 C 洁净版、L 轻处理版;防腐、排粉弱于 MS,适合干净 / 轻度水汽、少量有机溶剂的制程,半导体镀膜、Loadlock 主力机型
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  • 日本ULVAC爱发科LS300A螺杆型干式真空泵
    日本ULVAC爱发科LS300A螺杆型干式真空泵 LS 是通用洁净型干式螺杆泵,主打高大气压抽速 + ECO-SHOCK 节能,分 C 洁净版、L 轻处理版;防腐、排粉弱于 MS,适合干净 / 轻度水汽、少量有机溶剂的制程,半导体镀膜、Loadlock 主力机型
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  • 日本ULVAC爱发科LS120A螺杆型干式真空泵
    日本ULVAC爱发科LS120A螺杆型干式真空泵 LS 是通用洁净型干式螺杆泵,主打高大气压抽速 + ECO-SHOCK 节能,分 C 洁净版、L 轻处理版;防腐、排粉弱于 MS,适合干净 / 轻度水汽、少量有机溶剂的制程,半导体镀膜、Loadlock 主力机型
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  • 日本ULVAC爱发科 MS1200A螺杆型干式真空泵
    日本ULVAC爱发科 MS1200A螺杆型干式真空泵 MS 是耐腐蚀 + 强排粉型单级干式螺杆泵,在 LS 系列基础上强化防腐、排颗粒能力;无油干式结构,适合含腐蚀气体、粉尘颗粒的严苛制程,半导体 / 锂电为主力场景
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  • 日本ULVAC爱发科 MS600A螺杆型干式真空泵
    日本ULVAC爱发科 MS600A螺杆型干式真空泵 MS 是耐腐蚀 + 强排粉型单级干式螺杆泵,在 LS 系列基础上强化防腐、排颗粒能力;无油干式结构,适合含腐蚀气体、粉尘颗粒的严苛制程,半导体 / 锂电为主力场景
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