进口EBARA荏原EV-A10风冷无油干式真空泵

标题：进口EBARA荏原EV-A10风冷无油干式真空泵

产品概述

EV-A10 是一款紧凑型风冷干式真空泵，无需冷却水。它在接近大气压的条件下具有出色的抽速特性，是需要反复进行大气压抽吸的应用的理想之选。由于只需电源即可运行，它节能高效且噪低，因此适用于各种环境，包括生产工厂、实验室和研究机构。

进口EBARA荏原EV-A10风冷无油干式真空泵 产品特点

1. 无油干式多级罗茨，转子非接触：泵腔内部无润滑油，无油污染、无颗粒，满足洁净真空；无需频繁换油，规避涡旋泵密封磨损、真空漂移问题荏原製作所。

2. 风冷结构，无需冷却水：仅接电源即可使用，Plug&Pump，机台内置、实验室安装灵活，省去水路配套。

3. 大气压段抽速优势突出：专门针对反复大气起泵场景设计，腔体从大气抽真空阶段速度表现优于 EV-SA 系列，非常适合 Load Lock 频繁启闭腔室荏原製作所。

4. 水蒸气耐受：500g/hr 水汽处理能力，是 EV-SA 系列的数倍，含水汽、轻溶剂蒸汽工况优势明显。

5. 低噪音、低振动：＜58dB (A)，适合实验室、精密量测设备。

6. 50/60Hz 性能不变，国内外产线通用；支持 RS485 通讯，可接入上位机做远程监控、报警记录。

7. 长维护周期，TCO 使用成本低；可选轴承冲洗版本，适配轻度弱腐蚀气体工况EBARA。

⚠️ 局限：标准版本不耐强腐蚀卤素、强酸强碱、大量粉尘、可聚合气体；强腐蚀工况需要选用防腐定制型号。

进口EBARA荏原EV-A10风冷无油干式真空泵 适用工况

环境工况

• 使用场所：室内

• 环境温度：5 ~ 40℃

• 相对湿度≤80%，禁止结露

• 海拔≤2000m，污染等级 2

• 避免雨水、大量粉尘直接落在泵体

工艺气体工况

• 适用：洁净空气、氮气、大量水蒸气、轻度有机溶剂蒸汽、无腐蚀性气体

• 启动：可直接大气压启动，适合频繁破真空、反复抽气循环

• 禁止工况：卤素、HF、强酸强碱、大量固体粉尘、液态液体回流、易聚合沉积物气体

应用场景

1. 半导体Load Lock 锁腔预抽、溅射 PVD 腔室预抽、半导体后段封装 / 键合 / 层压、CD-SEM 量测设备、氦检漏设备。

2. 锂电行业（主力场景）电芯干燥、注液前脱气、真空层压、电池壳体氦检；水汽含量高的锂电真空工艺，对比 EV-SA 优势明显。

3. 分析仪器 / 科研实验室真空烘箱、冷冻干燥、质谱、SEM、手套箱、等离子清洗、同步辐射光束线、科研模拟腔。

4. 制药 / 医疗真空干燥、冻干设备、灭菌设备。

5. 其他工业等离子表面处理、真空脱泡、真空压合、精密氦检。

6. 模型		单元	EV-A10
   电源	额定电压 50/60Hz		单相200-240V， 三相200-240V
   	允许的电压波动		±10%
   	功率容量	千伏安	3
   排气速度		升/分钟	1000
   极限压力		宾夕法尼亚州	3 *
   水蒸气排放		克/小时	500
   连接端口直径	进气口		西北40
   	排气口		西北40
   达到压力时的近似功率值		千瓦	1.1
   冷却方法			空冷式
   近似质量		公斤	75