EMT型/ EBT型涡轮分子泵-玉崎半导体（深圳）有限公司

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EBARA荏原EBT2400F轴承复合式涡轮分子泵 EBT 定位：陶瓷机械轴承经济型分子泵，和 EMT 磁悬浮分子泵同属荏原 TMP 产品线；EBT 主打性价比、抗冲击、移动真空小车，适合分析仪器、科研、中小型镀膜；EMT 是 5 轴磁悬浮，低振动、长寿命，用于CDSEM、EUV、光束线。EBT 同样必须搭配前级干泵（EV/ESR），不能直接大气压启动上海荏原精.

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2026-10-10

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EBARA荏原EBT1400F轴承复合式涡轮分子泵

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EBARA荏原EBT800F陶瓷轴承复合式涡轮分子泵

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EBARA荏原EBT450F陶瓷轴承复合式涡轮分子泵

EBARA荏原EBT450F陶瓷轴承复合式涡轮分子泵 EBT 定位：陶瓷机械轴承经济型分子泵，和 EMT 磁悬浮分子泵同属荏原 TMP 产品线；EBT 主打性价比、抗冲击、移动真空小车，适合分析仪器、科研、中小型镀膜；EMT 是 5 轴磁悬浮，低振动、长寿命，用于CDSEM、EUV、光束线。EBT 同样必须搭配前级干泵（EV/ESR），不能直接大气压启动上海荏原精.

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EBARA荏原EBT350F陶瓷轴承复合式涡轮分子泵

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