日本ULVAC爱发科CR60B-S空冷式多级罗茨干泵

标题：日本ULVAC爱发科CR60B-S空冷式多级罗茨干泵

产品概述

日本ULVAC爱发科CR60B-S空冷式多级罗茨干泵核心原理

多级三叶罗茨无油干式结构；转子与缸体非接触间隙旋转，逐级压缩气体直排大气；强制风冷散热，无水冷夹套；搭载 DC 屏蔽密封电机，标配气镇（Gas Ballast）机构，可处理少量水蒸气

日本ULVAC爱发科CR60B-S空冷式多级罗茨干泵产品特点

1. 空冷，无需冷却水、不需要氮气轴封吹扫，基建简单、部署灵活，运行成本低（CR 最大亮点）ULVAC SHOW...

2. DC 屏蔽密封电机：节能、氦气密结构、轻量化，工艺气体不易外泄

3. 标配气镇阀，可抽除少量水蒸气，适合真空干燥含水汽工况

4. 洁净无油，泵腔无润滑油，无油雾返流污染腔体

5. 整机自带消音器、移动脚轮，噪音低，方便移位、设备内置集成

6. 认证齐全：CE、cTUVus，适合出口设备配套

7. 限制：无主动均热温控（不像 LR 低温、HR 高温），无专门防腐涂层

适用工况

• 真空区间：大气压 → 粗 / 中真空，作为 TMP 分子泵前级粗抽泵

• 允许气体：空气、N₂、Ar 洁净惰性气体；少量水蒸气（开启气镇）

• 不适合：强腐蚀气体、大量反应粉尘、易升华凝附副产物（这类选 HR/MS）

• 散热方式：风冷，环境温度不能过高；不适合 24h 不间断重载长时间连续量产线

• 运行模式：间歇抽气、小型 Load Lock、研发试样腔体、真空干燥

运用场景

1. 实验室、高校研发真空系统、分析仪器前级粗抽

2. 小型 PVD 溅射、小型蒸镀设备、光学试样镀膜

3. 真空干燥、电子元器件脱气（含水汽，用气镇）

4. 小型氦检漏台、真空封装、气体置换

5. 中小型 FPD、光伏小腔 Load Lock 传片腔（洁净无腐蚀）

规格