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  • EBARA荏原EBT240F陶瓷轴承复合式涡轮分子泵
    EBARA荏原EBT240F陶瓷轴承复合式涡轮分子泵 EBT 定位:陶瓷机械轴承经济型分子泵,和 EMT 磁悬浮分子泵同属荏原 TMP 产品线;EBT 主打性价比、抗冲击、移动真空小车,适合分析仪器、科研、中小型镀膜;EMT 是 5 轴磁悬浮,低振动、长寿命,用于CDSEM、EUV、光束线。EBT 同样必须搭配前级干泵(EV/ESR),不能直接大气压启动上海荏原精.
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    更新日期

    2026-10-10
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  • EBARA荏原EBT220F陶瓷轴承复合式涡轮分子泵
    EBARA荏原EBT220F陶瓷轴承复合式涡轮分子泵 EBT 定位:陶瓷机械轴承经济型分子泵,和 EMT 磁悬浮分子泵同属荏原 TMP 产品线;EBT 主打性价比、抗冲击、移动真空小车,适合分析仪器、科研、中小型镀膜;EMT 是 5 轴磁悬浮,低振动、长寿命,用于CDSEM、EUV、光束线。EBT 同样必须搭配前级干泵(EV/ESR),不能直接大气压启动上海荏原精.
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  • EBARA荏原EBT70F陶瓷轴承复合式涡轮分子泵
    EBARA荏原EBT70F陶瓷轴承复合式涡轮分子泵 EBT 定位:陶瓷机械轴承经济型分子泵,和 EMT 磁悬浮分子泵同属荏原 TMP 产品线;EBT 主打性价比、抗冲击、移动真空小车,适合分析仪器、科研、中小型镀膜;EMT 是 5 轴磁悬浮,低振动、长寿命,用于CDSEM、EUV、光束线。EBT 同样必须搭配前级干泵(EV/ESR),不能直接大气压启动上海荏原精.
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  • EBARA荏原EMT4200MK磁悬浮高真空涡轮分子泵
    EBARA荏原EMT4200MK磁悬浮高真空涡轮分子泵 磁悬浮式EMT和滚珠轴承式EBT。它们的泵速范围很广,从340升/分钟到4200升/分钟不等,并配备集成控制器,可选配水冷或风冷系统。此外,我们还提供多种可选配置,包括耐高温型、耐腐蚀型、反应副产物处理型和低振动型,可灵活适应各种应用场景。
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  • EBARA荏原EMT3800MK磁悬浮高真空涡轮分子泵
    EBARA荏原EMT3800MK磁悬浮高真空涡轮分子泵 磁悬浮式EMT和滚珠轴承式EBT。它们的泵速范围很广,从340升/分钟到4200升/分钟不等,并配备集成控制器,可选配水冷或风冷系统。此外,我们还提供多种可选配置,包括耐高温型、耐腐蚀型、反应副产物处理型和低振动型,可灵活适应各种应用场景。
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  • EBARA荏原EMT3300MK磁悬浮高真空涡轮分子泵
    EBARA荏原EMT3300MK磁悬浮高真空涡轮分子泵 磁悬浮式EMT和滚珠轴承式EBT。它们的泵速范围很广,从340升/分钟到4200升/分钟不等,并配备集成控制器,可选配水冷或风冷系统。此外,我们还提供多种可选配置,包括耐高温型、耐腐蚀型、反应副产物处理型和低振动型,可灵活适应各种应用场景。
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