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  • 优势品牌日本ULVAC爱发科HR300多级罗茨型干式真空泵
    日本ULVAC爱发科HR300多级罗茨型干式真空泵 通过高温领域的泵体均热化,实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。
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    更新日期

    2026-10-20
    02

    厂商性质

    代理商
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  • 优势品牌日本ULVAC爱发科HR90多级罗茨型干式真空泵
    日本ULVAC爱发科HR90多级罗茨型干式真空泵 通过高温领域的泵体均热化,实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。
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    更新日期

    2026-10-20
    02

    厂商性质

    代理商
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  • 优势品牌日本ULVAC爱发科HR60多级罗茨型干式真空泵
    日本ULVAC爱发科HR60多级罗茨型干式真空泵 通过高温领域的泵体均热化,实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。
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  • 代理品牌ULVAC爱发科ZR120A-S多级罗茨型干式真空泵
    ULVAC爱发科ZR120A-S多级罗茨型干式真空泵 ZR 是小型轻量化洁净多级罗茨干泵,定位在 LS 洁净螺杆泵的下游选型,主打小体积、低噪音、低待机功耗,只适合无腐蚀、无粉尘的纯洁净制程,是 Loadlock、TMP 前级的紧凑型方案。
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