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优势品牌日本ULVAC爱发科HR90多级罗茨型干式真空泵

日本ULVAC爱发科HR90多级罗茨型干式真空泵通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。

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更新日期
2026-10-20

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厂商性质
代理商

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优势品牌日本ULVAC爱发科HR60多级罗茨型干式真空泵

日本ULVAC爱发科HR60多级罗茨型干式真空泵通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。

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更新日期
2026-10-20

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厂商性质
代理商

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13
代理品牌ULVAC爱发科ZR120A-S多级罗茨型干式真空泵

ULVAC爱发科ZR120A-S多级罗茨型干式真空泵 ZR 是小型轻量化洁净多级罗茨干泵，定位在 LS 洁净螺杆泵的下游选型，主打小体积、低噪音、低待机功耗，只适合无腐蚀、无粉尘的纯洁净制程，是 Loadlock、TMP 前级的紧凑型方案。

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更新日期
2026-10-20

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厂商性质
代理商

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16
日本ULVAC爱发科LS1200A螺杆型干式真空泵

日本ULVAC爱发科LS1200A螺杆型干式真空泵 LS 是通用洁净型干式螺杆泵，主打高大气压抽速 + ECO-SHOCK 节能，分 C 洁净版、L 轻处理版；防腐、排粉弱于 MS，适合干净 / 轻度水汽、少量有机溶剂的制程，半导体镀膜、Loadlock 主力机型

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更新日期
2026-10-20

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厂商性质
代理商

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18
日本ULVAC爱发科LS600A螺杆型干式真空泵

日本ULVAC爱发科LS600A螺杆型干式真空泵 LS 是通用洁净型干式螺杆泵，主打高大气压抽速 + ECO-SHOCK 节能，分 C 洁净版、L 轻处理版；防腐、排粉弱于 MS，适合干净 / 轻度水汽、少量有机溶剂的制程，半导体镀膜、Loadlock 主力机型

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更新日期
2026-10-20

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厂商性质
代理商

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14
日本ULVAC爱发科LS300A螺杆型干式真空泵

日本ULVAC爱发科LS300A螺杆型干式真空泵 LS 是通用洁净型干式螺杆泵，主打高大气压抽速 + ECO-SHOCK 节能，分 C 洁净版、L 轻处理版；防腐、排粉弱于 MS，适合干净 / 轻度水汽、少量有机溶剂的制程，半导体镀膜、Loadlock 主力机型

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更新日期
2026-10-20

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厂商性质
代理商

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