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日本ULVAC爱发科LS120A螺杆型干式真空泵

日本ULVAC爱发科LS120A螺杆型干式真空泵 LS 是通用洁净型干式螺杆泵，主打高大气压抽速 + ECO-SHOCK 节能，分 C 洁净版、L 轻处理版；防腐、排粉弱于 MS，适合干净 / 轻度水汽、少量有机溶剂的制程，半导体镀膜、Loadlock 主力机型

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更新日期
2026-10-20

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厂商性质
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日本ULVAC爱发科 MS1200A螺杆型干式真空泵

日本ULVAC爱发科 MS1200A螺杆型干式真空泵 MS 是耐腐蚀 + 强排粉型单级干式螺杆泵，在 LS 系列基础上强化防腐、排颗粒能力；无油干式结构，适合含腐蚀气体、粉尘颗粒的严苛制程，半导体 / 锂电为主力场景

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更新日期
2026-10-20

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厂商性质
代理商

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日本ULVAC爱发科 MS600A螺杆型干式真空泵

日本ULVAC爱发科 MS600A螺杆型干式真空泵 MS 是耐腐蚀 + 强排粉型单级干式螺杆泵，在 LS 系列基础上强化防腐、排颗粒能力；无油干式结构，适合含腐蚀气体、粉尘颗粒的严苛制程，半导体 / 锂电为主力场景

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更新日期
2026-10-20

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厂商性质
代理商

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代理品牌日本ULVAC爱发科 MS120A 螺杆型干式真空泵

日本ULVAC爱发科 MS120A 螺杆型干式真空泵 MS 是耐腐蚀 + 强排粉型单级干式螺杆泵，在 LS 系列基础上强化防腐、排颗粒能力；无油干式结构，适合含腐蚀气体、粉尘颗粒的严苛制程，半导体 / 锂电为主力场景

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更新日期
2026-10-20

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VFR‑500日本ULVAC爱发科大口径气动摆动式真空门阀

日本ULVAC爱发科大口径气动摆动式真空门阀真空阀是用于控制真空环境的阀门。它主要用于调节、停止和打开真空系统（例如真空泵和真空设备）内的气流。在真空环境中，工作是在比正常气压低得多的压力下完成的，因此阀门被设计成气密的并防止气体泄漏。

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更新日期
2026-09-03

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VFR‑400日本ULVAC爱发科大口径气动摆动式真空门阀

日本ULVAC爱发科大口径气动摆动式真空门阀真空阀是用于控制真空环境的阀门。它主要用于调节、停止和打开真空系统（例如真空泵和真空设备）内的气流。在真空环境中，工作是在比正常气压低得多的压力下完成的，因此阀门被设计成气密的并防止气体泄漏。

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更新日期
2026-09-03

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