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进口EBARA荏原EV-M505SF水冷多级罗茨干泵

进口EBARA荏原EV-M505SF水冷多级罗茨干泵荏原独特的高温技术使其能够在半导体、液晶和太阳能电池制造等产生反应副产物的高负荷工艺中运行。其高能效可同时实现高负荷工艺能力和节能效果。标配耐腐蚀材料，并提供排气量高达110,000升/分钟的大排量型号。凭借丰富的产品系列，可满足各种工艺条件，从而应对广泛的高负荷工艺。

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更新日期
2026-09-28

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进口EBARA荏原EV-M502N水冷多级罗茨干泵

进口EBARA荏原EV-M502N水冷多级罗茨干泵荏原独特的高温技术使其能够在半导体、液晶和太阳能电池制造等产生反应副产物的高负荷工艺中运行。其高能效可同时实现高负荷工艺能力和节能效果。标配耐腐蚀材料，并提供排气量高达110,000升/分钟的大排量型号。凭借丰富的产品系列，可满足各种工艺条件，从而应对广泛的高负荷工艺。

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2026-09-28

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日本EBARA荏原EV-M302N水冷多级罗茨干泵

日本EBARA荏原EV-M302N水冷多级罗茨干泵荏原独特的高温技术使其能够在半导体、液晶和太阳能电池制造等产生反应副产物的高负荷工艺中运行。其高能效可同时实现高负荷工艺能力和节能效果。标配耐腐蚀材料，并提供排气量高达110,000升/分钟的大排量型号。凭借丰富的产品系列，可满足各种工艺条件，从而应对广泛的高负荷工艺。

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更新日期
2026-09-28

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厂商性质
代理商

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日本进口EBARA荏原EV-M20N水冷多级罗茨干泵

日本进口EBARA荏原EV-M20N水冷多级罗茨干泵荏原独特的高温技术使其能够在半导体、液晶和太阳能电池制造等产生反应副产物的高负荷工艺中运行。其高能效可同时实现高负荷工艺能力和节能效果。标配耐腐蚀材料，并提供排气量高达110,000升/分钟的大排量型号。凭借丰富的产品系列，可满足各种工艺条件，从而应对广泛的高负荷工艺。

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2026-09-28

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厂商性质
代理商

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62
EBARA荏原EV-S200N洁净工艺多级罗茨干泵

EBARA荏原EV-S200N洁净工艺多级罗茨干泵其独特的转子设计和空转功能实现了世界yi流的能源效率和紧凑性，有助于降低运行成本。此外，还提供耐腐蚀材料选项，使其适用于从轻负载应用（例如负载锁和扫描电镜）到腐蚀性工艺等各种应用。

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更新日期
2026-09-28

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厂商性质
代理商

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53
EBARA荏原EV-S200P洁净工艺多级罗茨干泵

EBARA荏原EV-S200P洁净工艺多级罗茨干泵其独特的转子设计和空转功能实现了世界yi流的能源效率和紧凑性，有助于降低运行成本。此外，还提供耐腐蚀材料选项，使其适用于从轻负载应用（例如负载锁和扫描电镜）到腐蚀性工艺等各种应用。

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