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  • 代理品牌EBARA荏原EV-X300N无油干式真空泵
    代理品牌EBARA荏原EV-X300N无油干式真空泵 这款用于中等负荷工艺的干式真空泵采用了荏原专有的节能技术,并采用了针对自动化工厂制造而优化的模块化设计,从而实现了进一步的小型化和节能。 宽范围温度控制拓展了适用工艺的范围。由于同一型号设备可覆盖多种工艺,因此优化了备用设备库存,减少了维护和培训工作量,并可灵活适应未来的工艺扩展。 适用应用实例:各种蚀刻和 CVD 工艺、灰化、离子注入。
    01

    更新日期

    2026-09-28
    02

    厂商性质

    代理商
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  • 代理品牌EBARA荏原EV-X200N无油干式真空泵
    代理品牌EBARA荏原EV-X200N无油干式真空泵 这款用于中等负荷工艺的干式真空泵采用了荏原专有的节能技术,并采用了针对自动化工厂制造而优化的模块化设计,从而实现了进一步的小型化和节能。 宽范围温度控制拓展了适用工艺的范围。由于同一型号设备可覆盖多种工艺,因此优化了备用设备库存,减少了维护和培训工作量,并可灵活适应未来的工艺扩展。 适用应用实例:各种蚀刻和 CVD 工艺、灰化、离子注入。
    01

    更新日期

    2026-09-28
    02

    厂商性质

    代理商
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  • 代理品牌EBARA荏原EV-X100N无油干式真空泵
    代理品牌EBARA荏原EV-X100N无油干式真空泵 这款用于中等负荷工艺的干式真空泵采用了荏原专有的节能技术,并采用了针对自动化工厂制造而优化的模块化设计,从而实现了进一步的小型化和节能。 宽范围温度控制拓展了适用工艺的范围。由于同一型号设备可覆盖多种工艺,因此优化了备用设备库存,减少了维护和培训工作量,并可灵活适应未来的工艺扩展。 适用应用实例:各种蚀刻和 CVD 工艺、灰化、离子注入。
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