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进口EBARA荏原EV-S50洁净工艺多级罗茨干泵

进口EBARA荏原EV-S50洁净工艺多级罗茨干泵其独特的转子设计和空转功能实现了世界yi流的能源效率和紧凑性，有助于降低运行成本。此外，还提供耐腐蚀材料选项，使其适用于从轻负载应用（例如负载锁和扫描电镜）到腐蚀性工艺等各种应用。

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更新日期
2026-09-28

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进口EBARA荏原EV-S30P洁净工艺多级罗茨干泵

进口EBARA荏原EV-S30P洁净工艺多级罗茨干泵其独特的转子设计和空转功能实现了世界yi流的能源效率和紧凑性，有助于降低运行成本。此外，还提供耐腐蚀材料选项，使其适用于从轻负载应用（例如负载锁和扫描电镜）到腐蚀性工艺等各种应用。

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2026-09-28

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进口EBARA荏原EV-S30洁净工艺多级罗茨干泵

进口EBARA荏原EV-S30洁净工艺多级罗茨干泵其独特的转子设计和空转功能实现了世界yi流的能源效率和紧凑性，有助于降低运行成本。此外，还提供耐腐蚀材料选项，使其适用于从轻负载应用（例如负载锁和扫描电镜）到腐蚀性工艺等各种应用。

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2026-09-28

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进口EBARA荏原EV-S20P洁净工艺多级罗茨干泵

进口EBARA荏原EV-S20P洁净工艺多级罗茨干泵其独特的转子设计和空转功能实现了世界yi流的能源效率和紧凑性，有助于降低运行成本。此外，还提供耐腐蚀材料选项，使其适用于从轻负载应用（例如负载锁和扫描电镜）到腐蚀性工艺等各种应用。

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进口EBARA荏原EV-S20洁净工艺多级罗茨干泵

进口EBARA荏原EV-S20洁净工艺多级罗茨干泵其独特的转子设计和空转功能实现了世界yi流的能源效率和紧凑性，有助于降低运行成本。此外，还提供耐腐蚀材料选项，使其适用于从轻负载应用（例如负载锁和扫描电镜）到腐蚀性工艺等各种应用。

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代理品牌EBARA荏原EV-X30N无油干式真空泵

代理品牌EBARA荏原EV-X30N无油干式真空泵这款用于中等负荷工艺的干式真空泵采用了荏原专有的节能技术，并采用了针对自动化工厂制造而优化的模块化设计，从而实现了进一步的小型化和节能。宽范围温度控制拓展了适用工艺的范围。由于同一型号设备可覆盖多种工艺，因此优化了备用设备库存，减少了维护和培训工作量，并可灵活适应未来的工艺扩展。适用应用实例：各种蚀刻和 CVD 工艺、灰化、离子注入。

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