华南一级代理EBARA荏原_第(2)页-玉崎半导体（深圳）有限公司

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EBARA荏原EBT450F陶瓷轴承复合式涡轮分子泵

EBARA荏原EBT450F陶瓷轴承复合式涡轮分子泵 EBT 定位：陶瓷机械轴承经济型分子泵，和 EMT 磁悬浮分子泵同属荏原 TMP 产品线；EBT 主打性价比、抗冲击、移动真空小车，适合分析仪器、科研、中小型镀膜；EMT 是 5 轴磁悬浮，低振动、长寿命，用于CDSEM、EUV、光束线。EBT 同样必须搭配前级干泵（EV/ESR），不能直接大气压启动上海荏原精.

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更新日期
2026-10-10

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EBARA荏原EBT350F陶瓷轴承复合式涡轮分子泵

EBARA荏原EBT350F陶瓷轴承复合式涡轮分子泵 EBT 定位：陶瓷机械轴承经济型分子泵，和 EMT 磁悬浮分子泵同属荏原 TMP 产品线；EBT 主打性价比、抗冲击、移动真空小车，适合分析仪器、科研、中小型镀膜；EMT 是 5 轴磁悬浮，低振动、长寿命，用于CDSEM、EUV、光束线。EBT 同样必须搭配前级干泵（EV/ESR），不能直接大气压启动上海荏原精.

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EBARA荏原EBT240F陶瓷轴承复合式涡轮分子泵

EBARA荏原EBT240F陶瓷轴承复合式涡轮分子泵 EBT 定位：陶瓷机械轴承经济型分子泵，和 EMT 磁悬浮分子泵同属荏原 TMP 产品线；EBT 主打性价比、抗冲击、移动真空小车，适合分析仪器、科研、中小型镀膜；EMT 是 5 轴磁悬浮，低振动、长寿命，用于CDSEM、EUV、光束线。EBT 同样必须搭配前级干泵（EV/ESR），不能直接大气压启动上海荏原精.

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2026-10-10

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代理商

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EBARA荏原EBT220F陶瓷轴承复合式涡轮分子泵

EBARA荏原EBT220F陶瓷轴承复合式涡轮分子泵 EBT 定位：陶瓷机械轴承经济型分子泵，和 EMT 磁悬浮分子泵同属荏原 TMP 产品线；EBT 主打性价比、抗冲击、移动真空小车，适合分析仪器、科研、中小型镀膜；EMT 是 5 轴磁悬浮，低振动、长寿命，用于CDSEM、EUV、光束线。EBT 同样必须搭配前级干泵（EV/ESR），不能直接大气压启动上海荏原精.

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2026-10-10

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代理商

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EBARA荏原EBT70F陶瓷轴承复合式涡轮分子泵

EBARA荏原EBT70F陶瓷轴承复合式涡轮分子泵 EBT 定位：陶瓷机械轴承经济型分子泵，和 EMT 磁悬浮分子泵同属荏原 TMP 产品线；EBT 主打性价比、抗冲击、移动真空小车，适合分析仪器、科研、中小型镀膜；EMT 是 5 轴磁悬浮，低振动、长寿命，用于CDSEM、EUV、光束线。EBT 同样必须搭配前级干泵（EV/ESR），不能直接大气压启动上海荏原精.

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2026-10-10

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EBARA荏原EMT4200MK磁悬浮高真空涡轮分子泵

EBARA荏原EMT4200MK磁悬浮高真空涡轮分子泵磁悬浮式EMT和滚珠轴承式EBT。它们的泵速范围很广，从340升/分钟到4200升/分钟不等，并配备集成控制器，可选配水冷或风冷系统。此外，我们还提供多种可选配置，包括耐高温型、耐腐蚀型、反应副产物处理型和低振动型，可灵活适应各种应用场景。

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