日本ULVAC爱发科DA-40SC单级隔膜式无油干泵

标题：日本ULVAC爱发科DA-40SC单级隔膜式无油干泵

产品概述

日本ULVAC爱发科DA-40SC单级隔膜式无油干泵核心特点

1. 全无油干式结构：接触气体区域不含油，不会产生油雾、返流污染，获得洁净真空；适合不能被油气污染的工艺

2. 单级并联双泵头：抽速比同抽速双级款更快，但极限真空不如双级（如 DA‑41D）

3. 内置自动复位热保护器，过载保护；可从大气压直接启动；带电源开关与电源线，开箱即可使用

4. 结构简单、维护低：主要消耗件只有膜片、阀片，更换简便；整机小巧轻量化，便于设备内置集成

5. 可选卸载阀（Unloader valve）：停机时导入大气，降低下次启动负载，改善启动性能；加装后极限真空略变差

6. 短板提醒：不耐强腐蚀、粉尘、大量可凝蒸气；仅适合洁净干燥空气 / 惰性气体

适用工况

• 介质：干燥、洁净、无腐蚀性、无大量粉尘、无高浓度可凝蒸汽（水、溶剂）的空气 / 惰性气体

• 压力区间：粗真空、低真空吸附、辅助抽气，不需要很高真空度

• 连续间歇都可以；多用于设备内置配套，不是重型工艺主泵

• 安装：室内通风环境，避免高温、粉尘、酸性气体

运用场景

✦ 半导体 & 光电（你重点方向）

• 晶圆、芯片载台真空吸盘、真空镊子、die 拾取吸附

• 光学镜片、滤光片真空固定、检测工装

• MEMS、样品预处理、小型等离子设备辅助抽气

• 检测机、探针台小型真空吸附单元

✦ 实验室与分析

• 真空过滤、小型脱泡、溶剂脱气、固相萃取

• 小型浓缩装置、分析仪取样抽气

✦ 自动化 & 通用工业

• PCB 贴装、印刷机、丝网印刷、移印油墨消泡

• 真空包装、吸附搬运、薄膜固定

• 光学设备、医疗仪器配套负压源

日本ULVAC爱发科DA-40SC单级隔膜式无油干泵规格