日本ULVAC爱发科DA-60S单级隔膜式无油干泵

标题：日本ULVAC爱发科DA-60S单级隔膜式无油干泵

产品概述

日本ULVAC爱发科DA-60S单级隔膜式无油干泵核心特点

1. 全无油单级隔膜结构，无油返流，洁净真空；相比 DA‑40S，抽量更大、功率更高，适合大腔体吸附、快速抽粗真空

2. 一体式提手、整机铝壳体，便于设备集成、移位；内置热过载保护，可直接大气压启动

3. 易维护：消耗件为橡胶膜片、阀片，有原厂保养套件；可选停机卸载阀，降低启动负荷（加装后极限真空略变差）

4. 对比同型号双级：DA‑60D：同样抽速，但双级可以到更深真空（3.32 kPa）；DA‑60S 主打大流量粗真空

5. 短板：标准橡胶膜片；不耐大量溶剂蒸汽、强腐蚀、粉尘、可凝水汽；非防爆；只适合干净干燥气体

 日本ULVAC爱发科DA-60S单级隔膜式无油干泵 参数表

衍生：DA‑60D（二段式，同流量、更高真空）；腐蚀工况选 DTC‑60（PTFE/FPM 接气部）

适用工况

• 介质：干燥洁净空气、惰性气体，无粉尘、无大量溶剂蒸汽

• 压力区间：粗真空，负压吸附、快速预抽；连续 / 间歇运行均可

• 配套在自动化、检测设备内部作为负压源

应用场景（半导体优先）

• 半导体 / 光电：晶圆载台、真空镊子、Die 拾取、光学镜片固定、探针台吸附、MEMS 样品预处理

• 实验室分析：真空过滤、脱泡、浓缩、固相萃取

• 自动化工业：PCB 印刷、丝网印刷、薄膜吸附、真空包装、注塑负压辅助

• 其他：医疗仪器、光学设备、小型灭菌配套负压源ULVAC SHOW...