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标题：ULVAC爱发科DA-30D两段式双级隔膜无油干泵
产品概述
双级串联无油隔膜结构，气路wan全无油，杜绝油返流，洁净真空；对比同流量单级 DA‑30S，真空深度强很多
内置自动复位热保护器，支持大气压直启；铝壳体，带一体式提手，适合设备内嵌集成
维护简单：耗材为橡胶膜片、阀片，原厂保养套件成熟；可选停机卸载阀，降低启动负载（加装后极限真空变差）
多电压版本：100V / 115V / 220V，适配中日、欧美设备配套
短板：标准接气部为普通橡胶；不耐强腐蚀、大量溶剂蒸汽、粉尘、可凝水汽；无防爆规格；不能当作分子泵主前级（前级优先 DAU 系列）
| 参数 | 50Hz | 60Hz |
|---|---|---|
| 有效抽速 | 30 L/min | 36 L/min |
| 极限压力（绝压） | 6.7 kPa（表压 -94.6 kPa） | 6.7 kPa |
| 电机 | 单相 100V，200W，4P，分相启动 | |
| 满载电流 | 5.6 A | 5.0 A |
| 外形尺寸 | 212(W) × 278(L) × 224.5(H) mm | |
| 整机重量 | 11.0 kg | |
| 吸排气口 | Rc 1/4；接管外径 φ9，内径 φ5 | |
| 使用环境 | 7～40℃，湿度 ≤85%，无凝露 |
衍生对比：DA‑30S（单级，流量更小、真空差）；想要更深真空同流量 → DA‑41D（极限 3.3 kPa）；腐蚀工况选用化学隔膜泵 DTC 系列
介质：干燥洁净空气、惰性气体，无粉尘、无大量溶剂 / 水汽
压力区间：粗～中粗真空；需要不错负压、中等抽气量；连续、间歇运行均可
设备内置负压源，适合不能有油气污染的工艺
半导体 & 光电：晶圆载台吸附、芯片 Die 拾取、光学镜片固定、MEMS 样品预处理、探针台、小型等离子辅助抽气、检测工装负压源
实验室分析：真空抽滤、样品脱泡、小型真空干燥、固相萃取、分析仪取样抽气
自动化工业：PCB 印刷、薄膜吸附搬运、胶水 / 树脂批量脱泡、精密移印负压
其他：精密医疗仪器、小型镀膜辅助抽气、气体采样设备
135-3022-7878
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