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ULVAC爱发科DA‑41D两段式双级隔膜无油干泵

描述:ULVAC爱发科DA‑41D两段式双级隔膜无油干泵
DA‑41D 是 DA 系列最主流热销双级款,同抽速下真空远优于 DA‑40S(单级),洁净无油,是半导体吸附、实验室脱泡的标配机型,还有 DA‑41DK 衍生版本

  • 产品型号:优势品牌
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-11-07
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产品详情/ PRODUCT DETAIL

标题:ULVAC爱发科DA‑41D两段式双级隔膜无油干泵

产品概述

ULVAC爱发科DA‑41D两段式双级隔膜无油干泵核心特点

  1. 双级串联隔膜、全无油,无油返流污染;依靠膜片往复排气,适合对油气零容忍工艺

  2. 内置自复位热保护器,大气压直启;自带电源开关与电源线,开箱可用;RoHS 合规ULVAC SHOW...

  3. 维护简便:耗材为橡胶膜片、阀片,原厂保养套件成熟;可选停机卸载阀,降低启动负载(加装后极限真空变差)

  4. 多电压版本:100V / 115V / 220V,适配日系设备、出口设备配套

  5. 短板:标准接气件为普通橡胶;不耐强腐蚀、大量溶剂蒸汽、粉尘、可凝水汽;非防爆;依然不适合作为分子泵主前级(前级选 DAU 系列);腐蚀工况对标选 DTC‑41(PTFE/FPM)

 ULVAC爱发科DA‑41D两段式双级隔膜无油干泵参数

参数项目50Hz60Hz
有效抽速40 L/min46 L/min
极限压力(绝压)3.3 kPa(表压 -98.0 kPa)3.3 kPa
电机单相,100W,4P,电容运转
满载电流2.5 A2.7 A
外形尺寸157(W) × 336.5(L) × 217(H) mm
整机重量10.3 kg
吸排气口G1/4;接管外径 φ12,内径 φ8
使用环境0~40℃,湿度 ≤85%,无凝露

DA‑41DK:结构、性能一致,只是接口 / 配线规格差异,特定设备配套

适用工况

  • 介质:干燥洁净空气、惰性气体,无粉尘、无大量溶剂、无高含水汽

  • 压力区间:中粗真空,需要比较深负压,同时要求不错抽速;连续、间歇运行都支持

  • 多用于设备内置,提供稳定洁净负压

应用场景(半导体优先)

  • 半导体 & 光电:晶圆真空吸盘、Die 拾取、真空镊子、探针台吸附、光学镜片固定、MEMS 样品预处理、小型等离子辅助抽气、检测工装负压源

  • 实验室分析:真空抽滤、样品脱泡、浓缩、固相萃取、气体取样

  • 自动化工业:PCB 印刷、丝网印刷、薄膜吸附搬运、树脂脱泡、精密移印

  • 其他:光学仪器、医疗设备、小型真空包装

DA-41D

ULVAC爱发科DA‑41D两段式双级隔膜无油干泵

DA-41DK

ULVAC爱发科DA‑41D两段式双级隔膜无油干泵


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