日本ULVAC爱发科DA‑81S单级隔膜无油干泵

标题：日本ULVAC爱发科DA‑81S单级隔膜无油干泵

产品概述

日本ULVAC爱发科DA‑81S单级隔膜无油干泵核心特点

1. 单级全无油隔膜结构，无油返流，洁净真空；单级排气，抽气响应快，适合需要大流量、不追求极深负压的场合

2. 内置热保护、锁定保护、过流保护，可大气压直接启动；出厂带电源开关与电源线，即插即用，RoHS 合规

3. 维护简单：消耗件为橡胶膜片、阀片，原厂保养套件齐全；可选停机卸载阀，降低启动负荷，加装后极限真空变差

4. 同壳体对比 DA‑41D：DA‑81S 流量大很多，但极限真空远弱于双级的 DA‑41D；电压版本可按需求选配（100V / 220V）

5. 短板：标准接气部件为普通橡胶；不耐强腐蚀、大量溶剂蒸汽、粉尘、可凝水汽；无防爆规格；不可作为分子泵前级；腐蚀工况选用 DTC 化学隔膜泵系列
    
   
   

 日本ULVAC爱发科DA‑81S单级隔膜无油干泵 适用工况

• 介质：干燥洁净空气、惰性气体，无粉尘、无大量溶剂、无高含水汽

• 压力区间：粗真空；优先满足大流量快速抽气，负压不需要拉得很深

• 连续 / 间歇运行，设备内置负压源

 应用场景（半导体优先）

• 半导体 & 光电：大面积晶圆吸盘、大载台真空吸附、批量 Die 拾取、光学面板固定、检测机多工位吸附、MEMS 预抽

• 实验室分析：大容量样品脱泡、真空抽滤、浓缩装置

• 自动化工业：大面积薄膜吸附、丝网印刷、PCB 大板吸附搬运、真空包装、树脂批量消泡

• 其他：光学设备、医疗仪器负压源
  DA-81S
  
  

• DA-81SK

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• 排气速度曲线