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日本ULVAC爱发科DA-81SK单级隔膜无油干泵

描述:日本ULVAC爱发科DA-81SK单级隔膜无油干泵
DA‑81S 是 DA 系列大流量单级款,壳体、电机外形和 DA‑41D 一致,主打**大抽速、粗真空、快速抽吸**,是吸附载台、自动化设备很常用的一款

  • 产品型号:优势品牌
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-11-07
  • 访问量:1
产品详情/ PRODUCT DETAIL

标题:日本ULVAC爱发科DA-81SK单级隔膜无油干泵

产品概述

日本ULVAC爱发科DA-81SK单级隔膜无油干泵核心特点

  1. 单级全无油隔膜结构,无油返流,洁净真空;单级排气,抽气响应快,适合需要大流量、不追求极深负压的场合

  2. 内置热保护、锁定保护、过流保护,可大气压直接启动;出厂带电源开关与电源线,即插即用,RoHS 合规

  3. 维护简单:消耗件为橡胶膜片、阀片,原厂保养套件齐全;可选停机卸载阀,降低启动负荷,加装后极限真空变差

  4. 同壳体对比 DA‑41D:DA‑81S 流量大很多,但极限真空远弱于双级的 DA‑41D;电压版本可按需求选配(100V / 220V)

  5. 短板:标准接气部件为普通橡胶;不耐强腐蚀、大量溶剂蒸汽、粉尘、可凝水汽;无防爆规格;不可作为分子泵前级;腐蚀工况选用 DTC 化学隔膜泵系列


参数项目50Hz60Hz
有效抽速75 L/min85 L/min
极限压力(绝压)13.3 kPa(表压 -88.0 kPa)13.3 kPa
电机单相 100V,100W,4P,电容运转
满载电流2.5 A2.7 A
外形尺寸181(W) × 336.5(L) × 217(H) mm
整机重量10.3 kg
吸排气口G1/4;接管外径 φ12,内径 φ8
使用环境0~40℃,湿度 ≤85%,无凝露

日本ULVAC爱发科DA-81SK单级隔膜无油干泵 适用工况

  • 介质:干燥洁净空气、惰性气体,无粉尘、无大量溶剂、无高含水汽

  • 压力区间:粗真空;优先满足大流量快速抽气,负压不需要拉得很深

  • 连续 / 间歇运行,设备内置负压源


应用场景(半导体优先)

  • 半导体 & 光电:大面积晶圆吸盘、大载台真空吸附、批量 Die 拾取、光学面板固定、检测机多工位吸附、MEMS 预抽

  • 实验室分析:大容量样品脱泡、真空抽滤、浓缩装置

  • 自动化工业:大面积薄膜吸附、丝网印刷、PCB 大板吸附搬运、真空包装、树脂批量消泡

  • 其他:光学设备、医疗仪器负压源
    DA-81S

    日本ULVAC爱发科DA-81SK单级隔膜无油干泵

  • DA-81SK

  • 日本ULVAC爱发科DA-81SK单级隔膜无油干泵

  • 排气速度曲线


    日本ULVAC爱发科DA-81SK单级隔膜无油干泵


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